真空室形式 | 真空室形式為分體式結(jié)構(gòu) |
箱體尺寸 | 箱式前開門、內(nèi)腔尺寸約Φ550×620mm,SUS304材料 |
極限真空 | 3.0×10-4Pa |
恢復(fù)真空度 | 大氣→3×10-3Pa≤15min |
真空系統(tǒng)配置 | 分子泵、直聯(lián)泵、閥門及管道 |
真空系統(tǒng)測量 | 數(shù)字顯示自動真空測量儀(電阻規(guī)+金屬電離規(guī)) |
系統(tǒng)操作(觸摸屏) | 自動PLC/手動 |
上、下機(jī)票設(shè)計為自動定位,上片自動夾持 | |
蒸發(fā)源 | 電阻蒸發(fā)源及其他相關(guān)件組成 |
該設(shè)備專門為晶體行業(yè)設(shè)計及制造,用于各類晶體在高真空狀態(tài)下的壓封及組合(真空壓合),可一次性完成鍍膜-壓封,將兩片晶體緊密地粘接;真空系統(tǒng)采用分子泵+直聯(lián)泵。